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CLEANROOM 개요

클린룸(CLEANROOM)이란 오염제어(Contamination control)를 하고 있는 한정된 공간에서의 부유 미소입자,
부유 미생물이 한정된 청정도 레벨 이하로 관리되고, 또 그 공간에 공급되는 재료, 약품, 물 등에 대해서도 요구되
는 청정도가 유지되어 필요에 따라서 관리를 하고 있는 공간을 의미한다.

CLEANROOM 6대 원칙

ICR (INDUSTRIAL CLEANROOM)

   ICR이란 공업품의 제조 공정으로 이용하는 클린룸이며, 주로 공기중에 있어서의 부유미립자가 관리되는 공간으로 ICR은 반도체 등의 전자 디바이스로부터 고순도 재료까지 광범위한 공업제품의 제조나 연구개발 장소에서 사용된다.
   반도체, 액정 등의 전자 디바이스의 전 공정의 ICR은, 클린 순환계에 FFU를 사용하는 것이 일반적이다. 향후 건설되는 LSI용 300mm의 실리콘 웨이퍼, 유리 기판을 이용하는 반도체, 그리고 CCD등의 프로세스에서는 웨이퍼를 로트 단위로 밀폐된 용기에 넣어 옮 기는 소형의 미니 인바이런먼털(Mini Environmental)방식으로 바뀌고 있다.

1. 기류 방식에 의한 분류
   1) 층류식 : JIS CLASS 5 (FED CLASS 100)이하의 높은 청정도의 클린룸에 채용 되어 천정 전면에서
      하부로 청정한 공기를 급기하고, 마루 전면에서 흡기하는 방식으로 실내에서 발생한 먼지는 이 기류에
      의해 신속하게 클린룸 외에 배기된다.
   2) 난류식 : JIS CLASS 6(FED CLASS 1,000) 이상의 낮은 청정도의 클린룸에 채용 되며 청정한 공기에
      의해 실내에서 발생한 먼지를 희석하는 것으로써 청정도를 유지한다.
   3) 터널방식 : 병용방식의 일례로 같은 공간안을 수직벽 등으로 구획하여 제조 장치 주위를 층류식, 청정
      통로를 난류식으로 하는 공조방식이다.

< ICR 적용 사례 >

1. 용도 : 포장실/검사실/작업실
2. CLASS : 1,000 - 10,000
3. 방 식 : AHU(Air Handling Unit) TYPE
4. HEPA BOX TYPE
5. DUCT SYSTEM
6. 전도성 TILE (3T, 회색, 600X600)
7. AIR SHOWER (3~4인용, 자동/수동 door)
8. PASS BOX (Air shower type)

① 일반적인 난류형 타입의 클린룸에 적용.
② 층류형 대비, 적은 비용, 적은 공간으로 클린룸이 가능하다.
③ 천정 공간이 협소할 경우, 무덕트 type의 ACU(Air Control Unit)를 CLEANROOM에 적용한다.

ICR CLASS별 적용

ICR INDUSTRY	청정도 CLASS
VLSI(VERY LARGE SCALE INTEGRATION)	CLASS 1 ~ 10
LSI, I/C 제조, PDP, EL, 태양광	CLASS 100
LSI, I/C 조립	CLASS 1,000 ~ 10,000
COMPACT DISK, 전자기기 검사/포장	CLASS 100 ~ 1,000
PCB/ FPCB 제조, 검사, 포장	CLASS 100 ~ 10,000
자기 TAPE	CLASS 100 ~ 10,000
자기 DISK, 정밀기기	CLASS 100 ~ 100,000
정밀 쟈이로	CLASS 100 ~ 10,000
LASER 실험실	CLASS 100 ~ 10,000
정밀 전기 계기	CLASS 100 ~ 10,000

BCR (BIOLOGICAL CLEANROOM)

   바이오클린룸(BIOLOGICAL Clean Room)은 원래 미국의 아폴로 계획에 따라 개발된 기술이다. 지구상의 미생물을 우주에 확산시키는 것을 방지하던가, 우주의 미생물이 지구에 감염되는 것을 차단하기 위한 목적에서 출발했으나, 점차 병원의 무균실, 고품질을 요하는 제조공정의 청정화에 대한 수요와 결부되면서 발전되어 왔다.
   개념적으로 실내의 온,습도 및 압력제어를 유지함과 동시에 생물입자 및 미생물 입자를 제어하는 밀폐시스템이며, 종래의 공기조화설비에 미생물의 수를 제어하는 데 중점을 둔다.
   ICR과 달리 비교적 적은 공간 중심으로 구성되는 바이오 클린룸은 대량의 외기, 주 공조 설비와 별도 국소배기시설, 생산공간 내에서 환경적 차이로 인하여 많은 벽(Barrier) 이 설치되며, 요구되는 청정도의 범위가 ICR보다 넓다.
   BCR 적용 범위는 크게 확장 되고 있다. 근년 각광을 받고 있는 나노기술 분야에 있어서는 바이오기술(의료분야, 실험동물 시설분야, 의약품 분야, 식품가공 분야, 생물위험방지 분야) 과 ICR간에 기술적 융합이 이루어져 가고 있는 추세이며, 그 융합을 위한 고리의 역할은 바로 나노기술이 담당할 것으로 예상되고 있다.

< BCR 적용 사례 >

1. 용도 : 식품가공실/원재료실/배합실
2. CLASS : 10,000 - 100,000
3. 방 식 : AHU(Air Handling Unit) TYPE
4. HEPA BOX TYPE
5. DUCT SYSTEM
6. EPOXY LINING
7. AIR SHOWER (1~2인용)/발판소독기
8. PASS BOX/손세정,소독기/건조기/해충방제기

① 일반적인 식품 공장(GMP, HACCP) 클린룸에 적용.
② 위생설비가 반드시 수반되어야 한다.(세균제어)
③ 오염에 의한 대형감염의 위험을 피하도록 동선 구성

BCR CLASS별 적용

BCR INDUSTRY	청정도 CLASS
무균수술실	CLASS 100
TISSUE BANK	CLASS 100
회복실	CLASS 100
일반수술실	CLASS 10,000 ~ 100,000
무균병실	CLASS 10,000 ~ 100,000
무균 동물 사육실	CLASS 100
동물사육실	CLASS 100 ~ 100,000
미생물 실험실	CLASS 1,000 ~ 10,000
주사약 제조	CLASS 1,000 ~ 10,000
화장품 제조	CLASS 100
우유 충진	CLASS 100 ~ 10,000
식품공장 가공실/포장실/제조실	CLASS 100 ~ 100,000

CLEANROOM 설계



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