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제목 |
클린룸 에너지절약기술 개발 |
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글쓴이 |
ILWOOING |
작성일 |
07-12-27 08:05:33 |
조회수 |
543 |
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반도체·LCD 클린룸 에너지절약기술 개발
Green Light for Energy Saving in Clean Room
국내에서 초청정 클린룸 에너지 절약 기술 개발이 잇따라 성공하면서 반도체·디스플레이업계의 에너지 절감 노력에 청신호가 켜졌다. 이들 기술이 상용화될 경우, 연간 최소 1364억원의 비용 절감이 기대된다.
한국생산기술연구원은 18일 유경훈 박사팀이 산업자원부와 에너지관리공단이 지원하는 에너지자원기술개발사업의 일환으로△송풍동력을 절감하는 초박형 팬필터유닛(FFU) △하이브리드 열회수식 외기공조시스템 △고효율 초박형 팬코일유닛(FCU) 시스템 등의 개발에 성공했다고 밝혔다. 이 가운데 특히 신성이엔지와 공동개발한 FFU 시스템은 높이를 66%로 축소 설계함으로써, 클린룸의 전력소비를 15% 줄이는데 성공하고 상용화 작업이 진행되고 있다.
이 기술을 적용한 제품을 설치하면 클린룸의 천정 높이를 낮출 수 있어 원가절감 효과까지 기대된다. 또 하이브리드 열회수식 외기공조시스템과 고효율 초박형 FCU 시스템은 외기부하와 제조장비의 발열부하에 대응해 전력 절감효과가 크다.
삼성전자·하이닉스반도체·LG필립스LCD 등의 반도체·디스플레이 제조공장에서 연간 소비하는 에너지는 우리나라 1차에너지 총 소비량의 1%에 달하며, 이가운데 40%를 클린룸 시설이 소비하고 있다.
유경훈박사(사진)는 “반도체·디스플레이업체들이 이번에 개발한 기술들만 클린룸시설에 적용해도 연간 27만2712 TOE(원유 1톤을 태우면 나오는 에너지 량)의 에너지를 절감할 수 있다”며 “이를 원유수입 대체 가격으로 환산하면 일년에 1364억원을 아끼는 셈이 된다”고 설명했다.
또 연간 22만6078 탄소 톤의 온실가스 감축효과까지 기대할 수 있어, 2013년부터 의무화되는 이산화탄소 배출 문제 해결에도 기여할 전망이다.
유경훈 박사는 “산학연관 공동 연구팀의 이번 ‘반도체·LCD 클린룸 에너지절약기술 개발’을 통해 핵심기술 확보에 성공한 만큼 앞으로 상용화에 박차를 가해 에너지 절감과 기업 경쟁력 강화를 견인하겠다”고 밝혔다.
심규호기자@전자신문, khsim@etnews.co.kr
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